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高效過濾器檢漏方法匯總(一)

高效過濾器檢漏方法匯總(一)

1.鈉焰法

:鈉焰法原理是將氯化鈉水溶液噴霧、干燥形成質量中值直徑約為0.4um的氯化鈉氣溶交作為試驗塵。在被測高效濾料的前后進行含塵空氣采樣,并引到鈉火焰光度計內,測出與含塵濃度相關的光電流值,從而算出濾料的透過率。

試原理:試驗塵源為單分散相氯化鈉鹽霧,“量”為含鹽霧時氫氣火焰的亮度,主要儀器為火焰光度計。鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺,經干燥形成微小鹽霧并進入風道。在過濾器前后分別采樣,含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍、亮度增加。以火焰亮度來判斷空氣的鹽霧濃度,并以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率。國家標準規定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4um,但對國內現有實測結果為0.5um。歐洲對實際試驗鹽霧顆粒中徑的測量結果為0.65um。隨著其他金測方法的普及,歐洲已經不再使用鈉焰法。國內有關部門正在修訂原來的國家標準,是廢止不是繼續使用鈉焰法,意見還沒有等到落實。

2.計數掃描法

安《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)中規定,被檢高效過濾器必須已檢測過風量,并計風速80%-120%之間運行,對于被檢高效過濾器上風側的顆粒濃度對受控粒徑對于

≥0.5um粒子的濃度,須≥3.5×104pc/L,對受控粒徑≥0.1um的粒子濃度,須≥3.5×106-3.5×107pc/L。使用小采樣量>1L/min的粒子計數器掃描法,對高效過濾器安麥接縫和主斷面進行掃描檢測,檢測點應距被測表面20-30mm,測頭以5-20mm/s 的速度移動,對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。在《潔凈室施工及驗收規范》中規定,由高效過濾器下風側泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格。

實際存在的問題:高效過濾器一般都在系統風量和各風口風量調整平衡后進行,根據規范要求各風口風量與設計的風量偏差小于15%,這滿足被檢風口在接近設計風速下進行的條件。所以當風量平衡好后要及時進行高效過濾器泄漏的檢測工作。

在工程上,對于大于100 級的凈化系統一般采用的粒子計數器的小粒徑通道為0.3um。所以,被檢高效過濾器在上風側的微粒濃度受控粒徑為≥0.5um,其濃度必須≥3.5×104pc/L,而一般大氣塵的濃度為5.3×104-2.5×105pc/L,這到了粒子計數器的讀數上限范圍。

在許多凈化系統中,進入循環空調箱的新風經過過濾器的處理,濃度遠遠小于大氣塵濃度,和回風混和后的濃度會更低。因此,在安裝好的凈化空調系統中引入大氣,是值得慎重思考的問題。為了保證被檢空氣過濾器上游粒子濃度要求,而不破壞系統風量的平衡,在上游引入均勻濃度的人工氣溶膠是理想的手段。

引入的氣溶膠濃度到底需要多少,這其實跟安裝的高效過濾器的效率和粒子計數器的分辨率有關。粒子計數器小位是個位,小數為零。測試儀器一般都會有盲區,如果要求的下游濃度小于10顆為合格,這些數據是否有效,按照統計學的原理是很難保證的。

現在,國內大多以美國DOP試驗對0.3um粒子的過濾效率作為高效過濾器的分類。所以采用計數掃描法檢漏時,被測粒徑應≥0.3um,這對上游濃度的要求更好。按高效過濾器的效率99.97%,下游濃度保證三個有效數字以內,則要求上游空氣中粒徑≥0.3um 的微粒濃度至少約為6×104pc/八L。如果采用效率99.99%效率的高效過濾器,上游≥0.3um 的微粒濃度約為2×105pc/L,這時上游≥0.5um 的粒子濃度,遠遠≥3.5×104pc/L。所以,采用大氣作為塵源已經不能滿足測試要求。

大流量的粒子計數器更適合用來檢測高效過濾器的安裝泄漏,空氣采樣量越大,測試結果就越具有代表性,準確度也就越高。規范要求的采樣量是1/min,而我們多使用的采樣量是

0.1cfm (2.83I/min),以此滿足測試儀器的要求,但這樣會影響到檢漏的工作效率。以610×610高效過濾器為例,使用移動采樣頭在高效過濾器下側采樣時,采樣速度20mm/s,矩形100×11.33采樣器至少需要244秒;圓形采樣器的采樣速度更慢,檢漏掃描所用的時間更長。而ISO14644-3《metrology and test methods》計算掃描速率和可接受觀測計數法的計算法則對一般工程技術人員來說又比較難掌握,所以,今后國家在制定這方面的規范時,對不同級別的高效過濾器,建議采用合適的采樣速率和可接受觀測計數,方便工程測試人員實際

操作。

高效過濾器檢漏方法除上述外,還有DOP粒子掃描正壓檢漏法、油霧法、PAO法三種,在下篇蘇州宏瑞會詳細展開!

蘇州宏瑞凈化科技有限公司作為30年的生產經驗的潔凈檢測儀器廠家已成功研發生產高效過濾檢漏裝置(氣溶膠發生器PM-350),并可按10萬級和100萬凈車間標準要求及國家GMP規范要求為微電子、生物醫藥、醫院手術室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業提供全系列的檢測儀器和技術支持,如動態監測時所需的潔凈環境在線監測系統”,靜態檢測時的“風量罩”“壓差儀”“塵埃粒子計數器”“浮游菌采樣器”等。


 

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