HCT 水基凝聚核粒子計數(shù)器 (CPC)4322和4323可以滿足在硬盤和TFT-LCD的生產(chǎn)過程中及半導體產(chǎn)品的處理過程中對納米級懸浮粒子濃度進行快速的檢測和報警的需要。
水基凝聚核粒子計數(shù)器簡介:
在硬盤和TFT-LCD的生產(chǎn)過程中以及半導體產(chǎn)品的處理過程中對懸浮粒子的實時監(jiān)控是非常重要的。這款水基凝聚核粒子計數(shù)器(WCPC)的設計可以滿足較高等級潔凈室的檢測需要。它的小采樣粒徑可以達到 10 nm, 而且采樣流量高達
優(yōu)點:
? 快速響應
? 高采樣流速
? 水基
? 兼容 SMPS 系統(tǒng)
? 小檢測粒徑達到 7 nm
? 高等級潔凈室監(jiān)測
? 可遠程控制
參數(shù):
? 計數(shù)效率:50 % @ 7 nm NaCl 粒子
100 % @ 10nm NaCl 粒子
? 采樣流量:
-
-
? 工作用液體: 去離子水 (推薦使用)
? 大檢測濃度:
- 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322
- 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323
? jing度:
- ±10 % up to 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322
- ±10 % up to 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323
? 12小時背景誤計數(shù)
- 0.001 particles/cm3 for 4322
- 0.0005 particles/cm3 for 4323
? 響應時間(在測試濃度發(fā)生變化的情況下):
- < 5 seconds for 95 % for 4322
- < 2 seconds for 95 % for 4323
? 數(shù)據(jù)通訊:以太網(wǎng)LAN接口, USB 接口或 RS232
? 操作系統(tǒng):內置Windows XP
? 數(shù)據(jù)儲存:FDM (Flash Disk Module) 2GB
可擴展到 60GB
? 氣源:內置無刷直流氣泵
? 外形尺寸 (L×H×W) :320 × 315 ×
? 重量:
? 電源:100~240 VAC, 50~65 Hz